[发明专利]一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置

摘要

一种旋喷一体化涂层的制备方法及装置，属于涂层制备技术领域。包括电源及控制系统和电机，还包括靶材、电极和基体，靶材为圆盘状，电机输出端与靶材中心轴连接，用于驱动靶材做高速旋转，靶材与电源及控制系统中电源的一极连接，电极和基体与电源的另一极连接，电极为板式电极，电极斜设于靶材的切向且与靶材之间的距离可调，电极低端指向靶材，电源及控制系统中控制系统分别与靶材、电极和基体连接，用于控制靶材、电极和基体的移动，电源与电机和控制系统电连接。本发明所述装置和方法，可以一次性完成基体材料表面的粗化、涂层的制备、厚度控制和表面质量改善，适用于所有导电材料涂层的制备，操作简单、可靠、成本低。