[发明专利]蓝宝石晶体生长工艺在审
| 申请号： | 202110833300.8 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113564694A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 付秀辉;丁军辉;林太顺 | 申请（专利权）人： | 东莞晶驰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/28 | 分类号： | C30B15/28;C30B15/20;C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李月俄;姚启政 |
| 地址： | 523850 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石晶体生长工艺，包括化料、引晶、放肩、等径、退火阶段；所述放肩阶段的晶体生长过程按照以下三个阶段进行：第一阶段晶体重量低于0.3kg，以0.2～2.5mm/h的上升速率旋转提拉籽晶，以5～7℃/h的速率降温；第二阶段晶体重量达到0.3～3.6kg，以0.3～3mm/h的上升速率旋转提拉籽晶，以10～14℃/h的速率降温，第三阶段晶体重量达到3.6kg以上，以0.5～4.5mm/h的上升速率旋转提拉籽晶，以16～20℃/h的速率降温，直至晶体距离反应炉的坩埚内壁5～10mm时完成放肩。本申请的制备方法制得的蓝宝石质量高，内应力小，无明显裂纹等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 晶体生长 工艺 | ||
【主权项】：
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