[发明专利]一种石墨烯等离激元气体传感器及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202110833247.1 申请日: 2021-07-22
公开(公告)号: CN113533300B 公开(公告)日: 2022-06-21
发明(设计)人: 赵珉;刘桂英;陈伟军;刘如军 申请(专利权)人: 岭南师范学院
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65;G01N27/12
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 刘瑶云;陈伟斌
地址: 524048 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及气体检测技术领域,公开了一种石墨烯等离激元气体传感器,包括包括基底、石墨烯层和贵金属颗粒层,基底、石墨烯层和贵金属颗粒层由下至上依次设置,贵金属颗粒层包括多个贵金属颗粒,贵金属颗粒位于石墨烯层的上方,贵金属颗粒可发生表面增强拉曼(SERS)效应,增强石墨烯等离激元与气体分子的相互作用,提高石墨烯层对气体的拉曼响应,从而获得等离激元增强的拉曼光谱,且贵金属颗粒还可提高石墨烯层对气体的电学响应,大大提高了传感器的灵敏度。另外,本发明的石墨烯层具有周期性纳米结构,石墨烯层和贵金属颗粒层之间设有TiO2介质层,基底包括硅衬底和设置硅衬底上的SiO2层。本发明还提供一种上述石墨烯等离激元气体传感器的制作方法。
搜索关键词: 一种 石墨 离激元 气体 传感器 及其 制作方法
【主权项】:
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