[发明专利]定位单元和定位工作台在审
| 申请号： | 202110831402.6 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113967898A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 宫本英司;高木研太朗 | 申请（专利权）人： | HEPHAIST株式会社 |
| 主分类号： | B25H1/14 | 分类号： | B25H1/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供在一维或二维方向能高精度定位的定位单元和定位工作台。定位单元包含：固定于基板上的第一轨道；能够滑动地装配于该第一轨道且在侧面具备相对于基板垂直的倾斜面的第一滑动部件；联接到该第一滑动部件的直线运动驱动装置，设置于前述基板，驱动第一滑动部件沿着轨道的前进后退运动；在前述基板上与第一轨道交叉地固定的第二轨道；以及能够滑动地装配于该第二轨道且在侧面具备相对于前述基板垂直的倾斜面的第二滑动部件，第一滑动部件与第二滑动部件配合为：通过它们的倾斜面互相接触的状态下因直线运动驱动装置的动作产生的第一滑动部件沿着轨道的前进后退运动，第二滑动部件进行沿着轨道的后退前进运动。以及使用该定位单元的定位工作台。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 单元 工作台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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