[发明专利]定位单元和定位工作台

说明书

提供在一维或二维方向能高精度定位的定位单元和定位工作台。定位单元包含：固定于基板上的第一轨道；能够滑动地装配于该第一轨道且在侧面具备相对于基板垂直的倾斜面的第一滑动部件；联接到该第一滑动部件的直线运动驱动装置，设置于前述基板，驱动第一滑动部件沿着轨道的前进后退运动；在前述基板上与第一轨道交叉地固定的第二轨道；以及能够滑动地装配于该第二轨道且在侧面具备相对于前述基板垂直的倾斜面的第二滑动部件，第一滑动部件与第二滑动部件配合为：通过它们的倾斜面互相接触的状态下因直线运动驱动装置的动作产生的第一滑动部件沿着轨道的前进后退运动，第二滑动部件进行沿着轨道的后退前进运动。以及使用该定位单元的定位工作台。

技术领域

本发明涉及也被称为对准台的定位工作台，而且特别涉及能够作为定位工作台的工作台移动机构有利地使用的定位单元。

背景技术

从前，也被称为对准台的定位工作台一般作为用于进行如下工作的装置使用：进行各种材料的加工时在将该材料载置在平板（被称为工作台或载物台）上的状态下使其沿平面方向移动，在即定的位置停止后进行在该平板上的材料的加工。

在定位工作台的代表性的产品类型中，包含：在已载置材料的工作台向一维方向的移动和其后的加工中利用的一维方向移动工作台；在已载置材料的工作台在二维方向（平面方向）上的移动和其后的加工中利用的、被称为XY载物台或XYθ载物台的二维方向移动工作台；以及在已载置材料的工作台在三维方向（平面方向＋高度方向）上的移动和其后的加工中利用的、一般被称为XYZ载物台的三维方向移动工作台。

定位工作台通常由被称为工作台或载物台的平板以及一个或多个定位单元构成，该一个或多个定位单元装配于该平板，并具有使平板移动到既定的位置且在该位置停止和临时固定的功能。定位单元通常由装配于平板的一个或多个直线滑移移动部件和驱动各个直线滑移移动部件的一维方向的移动的驱动部件构成，该驱动部件固定于另外准备好的基盘上。而且，关于进行已载置的材料向一维方向的移动和在既定位置的临时固定的一维移动工作台，一般使用固定于基盘的一个定位单元或一个定位单元和滑动部件的配合。

另一方面，关于进行加工材料在二维方向（平面方向）上的移动以及在既定位置的停止和临时固定的定位工作台，通常使用固定于基板的多个（一般为二至四个）定位单元，使工作台移动到期望的位置并临时固定。

另外，关于进行加工材料的三维方向的移动和在既定位置的临时固定的、一般被称为XYZ载物台的定位工作台，一般构成为使用固定于基盘的多个（一般为二至四个）定位单元而能够进行平面方向的移动，进而配合使平板在纵向（高度方向）上移动并固定的定位单元，从而使加工材料向既定的位置移动后，在该位置临时固定。

而且另外还已知使已载置加工材料的平板仅在纵向（高度方向）上移动并临时固定的Z轴定位单元或工作台。

作为此前已说明的进行定位对象的材料的二维方向的移动和临时固定的定位工作台，已知各种构成的定位工作台。作为其示例，能够列举在以下记载的专利文献中公开的构成。

二维定位工作台（XY载物台）：专利文献1、专利文献2、专利文献3、专利文献4；

XZ工作台：专利文献5；

三维定位工作台：专利文献6、专利文献7。

【现有技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开平8-252733号公报；

【专利文献2】日本特开平10-519号公报；

【专利文献3】日本特开2008-34645号公报；

【专利文献4】日本特开2010-274429号公报；

【专利文献5】日本公开实用60-109833号公报；

【专利文献6】日本特许第5490650号公报；

【专利文献7】日本特许第5767473号公报。

发明内容