[发明专利]基于皮秒激光的氮化镓器件成核层热阻测量装置及方法有效
| 申请号： | 202110829463.9 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113567824B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 阚劲松;张珊;刘冲;杨胜焱;徐迎春;邢荣欣 | 申请（专利权）人： | 中国电子技术标准化研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京头头知识产权代理有限公司 11729 | 代理人： | 白芳仿;刘锋 |
| 地址： | 100007 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于皮秒激光的氮化镓器件成核层热阻测量装置及方法，其主要由加热和功率测量子系统、瞬态热响应测量子系统、测量保障子系统三部分构成，所述加热和功率测量子系统包含皮秒激光加热、电学加热和电学温度探测模块，该方法是采用结构函数法计算分层热阻。该方法包含皮秒激光加热步骤和电学加热步骤，其首先用皮秒激光对半导体器件薄层加热，然后采用电学采集方式进行温度测量，并采用电学加热和电学探测方式进行激光加热的等效电加热功率确定。解决了现有技术不能在微米尺度下进行氮化镓HEMT器件成核层热阻测试的难题。采用了电压和温度校准曲线插值计算的方式，避免了参数非线性的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 氮化 器件 成核 层热阻 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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