[发明专利]成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置在审
| 申请号： | 202110826264.2 | 申请日： | 2021-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN114067930A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 福元敏之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G16C20/70 | 分类号： | G16C20/70;G16C60/00;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置,其能够输出更合适的成膜条件。成膜条件输出装置具有:第一计算部,其使用将基于成膜装置的成膜处理模型化的线性模型,对用于实现目标成膜结果的第一成膜条件进行计算；第二计算部,其使用将基于上述成膜装置的成膜处理模型化且能够对预测的成膜结果的可信区间进行计算的非线性回归模型,对用于实现上述目标成膜结果的第二成膜条件进行计算；以及选择部,其基于上述第二成膜条件被计算时预测的成膜结果的可信区间是否满足规定的条件的判定结果,选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者。 | ||
| 搜索关键词： | 条件 输出 装置 方法 程序 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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