[发明专利]成膜条件输出装置、输出方法、输出程序以及成膜装置

权利要求书

1.一种成膜条件输出装置,其具有:

第一计算部,其使用将基于成膜装置的成膜处理模型化的线性模型,对用于实现目标成膜结果的第一成膜条件进行计算；

第二计算部,其使用将基于上述成膜装置的成膜处理模型化且能够对预测的成膜结果的可信区间进行计算的非线性回归模型,对用于实现上述目标成膜结果的第二成膜条件进行计算；以及

选择部,其基于上述第二成膜条件被计算时预测的成膜结果的可信区间是否满足规定的条件的判定结果,选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者。

2.根据权利要求1所述的成膜条件输出装置,其中,

在判定满足上述规定的条件的情况下,上述选择部对第一差值和第二差值进行比较,并且基于比较结果,选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者,该第一差值为上述第一成膜条件被计算时的第一成膜结果与目标成膜结果的差值,该第二差值为上述第二成膜条件被计算时的第二成膜结果与目标成膜结果的差值。

3.根据权利要求1所述的成膜条件输出装置,其中,

在判定不满足上述规定的条件的情况下,上述选择部选择并输出上述第一成膜条件。

4.根据权利要求2所述的成膜条件输出装置,其中,

在上述第一差值比上述第二差值小的情况下,上述选择部选择并输出上述第一成膜条件,在上述第一差值与上述第二差值相同或比上述第二差值大的情况下,上述选择部选择并输出上述第二成膜条件。

5.根据权利要求1所述的成膜条件输出装置,其中,

上述线性模型以及上述非线性回归模型分别是以使在输入成膜条件的情况下的预测成膜结果接近对应的成膜结果的方式对模型参数进行更新的已学习的模型。

6.一种成膜条件输出方法,其具有:

第一计算工序,其使用将基于成膜装置的成膜处理模型化的线性模型,对用于实现目标成膜结果的第一成膜条件进行计算；

第二计算工序,其使用将基于上述成膜装置的成膜处理模型化且能够对预测的成膜结果的可信区间进行计算的非线性回归模型,对用于实现上述目标成膜结果的第二成膜条件进行计算；以及

选择工序,其基于上述第二成膜条件被计算时预测的成膜结果的可信区间是否满足规定的条件的判定结果,选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者。

7.一种计算机可读存储介质,其上存储有成膜条件输出程序,该成膜条件输出程序被处理器执行时实现以下工序:

第一计算工序,其使用将基于成膜装置的成膜处理模型化的线性模型,对用于实现目标成膜结果的第一成膜条件进行计算；

第二计算工序,其使用将基于上述成膜装置的成膜处理模型化且能够对预测的成膜结果的可信区间进行计算的非线性回归模型,对用于实现上述目标成膜结果的第二成膜条件进行计算；以及

选择工序,其基于上述第二成膜条件被计算时预测的成膜结果的可信区间是否满足规定的条件的判定结果,选择并输出上述第一成膜条件和上述第二成膜条件的任一者。

8.一种成膜装置,其具有权利要求7所述的计算机可读存储介质。