[发明专利]超大尺寸长方体熔融石英坩埚的制备方法及其用于生产空心方硅芯的方法有效
| 申请号： | 202110820233.6 | 申请日： | 2021-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN113443903B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 李健;刘丽丽;高源 | 申请（专利权）人： | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/14 | 分类号： | C04B35/14;C04B35/622;C04B35/624;C04B41/89;C30B28/06;C30B29/06;C30B33/06;C01B33/029;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11636 | 代理人： | 李艳艳 |
| 地址： | 264000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及超大尺寸长方体熔融石英坩埚的制备及其用于生产空心方硅芯的方法，属于多晶硅生产技术领域，所述熔融石英坩埚的制备方法包括如下步骤：石英浆料的制备、超大尺寸长方体熔融石英坩埚坯体的制备、熔融石英坩埚的烧结、高纯石英涂层的涂覆、氮化硅涂层的涂覆。所述的超大尺寸长方体熔融石英坩埚用于生产空心方硅芯的方法包括：多晶硅铸锭制备、线切硅板/硅条、将硅板/硅条连接成空心方硅芯。本发明中涉及的用超大尺寸长方体熔融石英坩埚生产的空心方硅芯可以起到提升还原炉产出多晶硅的效率和品质的优点，有利于多晶硅生产企业降低成本、增强竞争能力。 | ||
| 搜索关键词： | 超大 尺寸 长方体 熔融 石英 坩埚 制备 方法 及其 用于 生产 空心 方硅芯 | ||
【主权项】：
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