[发明专利]一种激光刻蚀装置、方法及系统在审
| 申请号： | 202110792102.1 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113547206A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王祥;李善基;吕哲 | 申请（专利权）人： | 深圳铭创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜、扫描振镜、聚焦透镜，所述装置还包括加工平台，其特征在于，所述加工平台包括承物台、第一旋转组件和第二旋转组件；所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件；所述第一旋转组件和第二旋转组件的旋转轴垂直，所述第一旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转，所述第二旋转组件用于驱动所述承物台翻转；所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述第一旋转组件和所述第二旋转组件电连接。本申请还相应提供了一种激光刻蚀方法和激光刻蚀系统，能够在mini LED显示面板的正面、侧面和背面上精确地刻蚀线路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 刻蚀 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
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