[发明专利]一种激光刻蚀装置、方法及系统

说明书

本申请公开了一种激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜、扫描振镜、聚焦透镜，所述装置还包括加工平台，其特征在于，所述加工平台包括承物台、第一旋转组件和第二旋转组件；所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件；所述第一旋转组件和第二旋转组件的旋转轴垂直，所述第一旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转，所述第二旋转组件用于驱动所述承物台翻转；所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述第一旋转组件和所述第二旋转组件电连接。本申请还相应提供了一种激光刻蚀方法和激光刻蚀系统，能够在mini LED显示面板的正面、侧面和背面上精确地刻蚀线路。

技术领域

本申请涉及激光加工技术领域，具体涉及一种激光刻蚀装置、方法及系统。

背景技术

传统技术中，为了实现大屏显示，通常采用小屏拼接的做法，即将多个较小的miniLED显示面板拼接，形成一个大的显示面板，但拼接处存在缝隙，当缝隙较大时，则会影响观感。

传统技术中，为了减少小屏mini LED拼接时的缝隙宽度，通常采用印刷工艺在小屏mini LED显示面板的基板的侧面形成线路，可使得显示面板正面、背面和侧面的线路导通，将控制电路板放置于显示面板的背面，减小绑定区的宽度，从而减小拼接缝宽，但是，印制工艺在小屏mini LED显示面板的上形成的线路精度不足，使得拼接时会出现线路不均匀或错位而导致产品加工失败的情况，良品率较低。

发明内容

本申请提供了一种能够在mini LED显示面板的正面的边缘区域、侧面和背面精确刻蚀线路，以减少mini LED显示面板的拼接缝的激光刻蚀装置。

一种激光刻蚀装置，包括激光器，用于出射激光束，所述装置沿所述激光束传播方向依次还包括：

扩束镜，用于对所述激光束扩束和准直；

扫描振镜，用于根据预设的扫描速率控制所述激光束的传播方向；

聚焦透镜，用于对所述激光束进行会聚；

所述装置还包括加工平台，所述加工平台包括承物台、第一旋转组件和第二旋转组件；

所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件；

所述第一旋转组件和第二旋转组件的旋转轴垂直，所述第一旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转，所述第二旋转组件用于驱动所述承物台翻转；

所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述第一旋转组件和所述第二旋转组件电连接。

在其中一个实施例中，所述激光器为紫外皮秒激光器或紫外飞秒激光器。

在其中一个实施例中，所述承物台还包括真空吸附装置，所述真空吸附装置用于将所述刻蚀标的元件固定在所述承物台上。

在其中一个实施例中，所述刻蚀标的元件为平板状结构，包括正面、底面和侧面，所述刻蚀标的元件至少一面上至少一区域涂覆或蒸镀有金属材料，所述刻蚀标的元件的底面与所述承物台紧贴，且所述底面覆盖所述承物台的台面。

在其中一个实施例中，所述加工平台还包括平移组件，所述平移组件用于驱动所述承物台平移。

在其中一个实施例中，所述装置还包括与所述控制器连接的第一图像传感器和第二图像传感器；

在所述承物台处于水平状态时，所述第一图像传感器的视场角覆盖所述承物台的台面；在所述承物台翻转处于竖直状态时，所述第二图像传感器的视场角覆盖所述承物台的台面。

此外，本申请还提供了一种基于上述激光刻蚀装置，能够在mini LED显示面板的正面的边缘区域、侧面和背面精确刻蚀线路，以减少mini LED显示面板的拼接缝的激光刻蚀方法。

一种激光刻蚀方法，基于前述的激光刻蚀装置，所述方法包括：