[发明专利]一种激光刻蚀装置、方法及系统在审
| 申请号： | 202110792100.2 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN113547205A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王祥;李善基;朱建 | 申请（专利权）人： | 深圳铭创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/06 | 分类号： | B23K26/06;B23K26/067;B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜，分光元件，扫描振镜和聚焦镜，分光元件用于将所述激光束分光为第一激光束、第二激光束和第三激光束；所述装置还包括加工平台，所述加工平台包括承物台和旋转组件；所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分别对应所述刻蚀标的元件的正面、侧面和背面；所述旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转；所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述旋转组件电连接。本申请还相应提供了一种激光刻蚀方法和激光刻蚀系统，能够在mini LED显示面板的正面、侧面和背面上精确地刻蚀线路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 刻蚀 装置 方法 系统 | ||
【主权项】：
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