[发明专利]一种激光刻蚀装置、方法及系统

说明书

本申请公开了一种激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜，分光元件，扫描振镜和聚焦镜，分光元件用于将所述激光束分光为第一激光束、第二激光束和第三激光束；所述装置还包括加工平台，所述加工平台包括承物台和旋转组件；所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分别对应所述刻蚀标的元件的正面、侧面和背面；所述旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转；所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述旋转组件电连接。本申请还相应提供了一种激光刻蚀方法和激光刻蚀系统，能够在mini LED显示面板的正面、侧面和背面上精确地刻蚀线路。

技术领域

本申请涉及激光加工技术领域，具体涉及一种激光刻蚀装置、方法及系统。

背景技术

传统技术中，为了实现大屏显示，通常采用小屏拼接的做法，即将多个较小的miniLED显示面板拼接，形成一个大的显示面板，但拼接处存在缝隙，当缝隙较大时，则会影响观感。

传统技术中，为了减少小屏mini LED拼接时的缝隙宽度，通常采用印刷工艺在小屏mini LED显示面板的基板的侧面形成线路，可使得显示面板正面、背面和侧面的线路导通，将控制电路板放置于显示面板的背面，减小绑定区的宽度，从而减小拼接缝宽，但是，印制工艺在小屏mini LED显示面板的上形成的线路精度不足，使得拼接时会出现线路不均匀或错位而导致产品加工失败的情况，良品率较低。

发明内容

本申请提供了一种能够在mini LED显示面板的正面的边缘区域、侧面和背面精确刻蚀线路，以减少mini LED显示面板的拼接缝的激光刻蚀装置。

一种激光刻蚀装置，包括激光器，用于出射激光束，所述装置沿所述激光束传播方向依次还包括：

扩束镜，用于对所述激光束扩束和准直；

分光元件，用于将所述激光束分光为第一激光束、第二激光束和第三激光束；

与所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分别对应的扫描振镜和聚焦镜，用于根据预设的扫描速率控制所述激光束进行刻蚀；

所述装置还包括加工平台，所述加工平台包括承物台和旋转组件；

所述承物台用于承载固定刻蚀标的元件，且所述第一激光束、第二激光束和第三激光束分别对应所述刻蚀标的元件的正面、侧面和背面；

所述旋转组件用于驱动所述承物台在所述承物台所处平面内旋转；

所述装置还包括控制器，所述控制器与所述激光器、所述扫描振镜、所述旋转组件电连接。

在其中一个实施例中，所述激光器为紫外皮秒激光器或紫外飞秒激光器。

在其中一个实施例中，所述分光元件包括第一分光元件和第二分光元件、所述第一分光元件用于分离出第一激光束，所述第二分光元件用于分离出第二激光束和第三激光束。

在其中一个实施例中，所述第一激光束、第二激光束和第三激光束为均匀能量分布或近似均匀能量分布。

在其中一个实施例中，所述承物台还包括真空吸附装置，所述真空吸附装置用于将所述刻蚀标的元件固定在所述承物台上。

在其中一个实施例中，所述刻蚀标的元件为平板状结构，包括正面、底面和侧面，所述刻蚀标的元件至少一面上至少一区域涂覆或蒸镀有金属材料，所述刻蚀标的元件的底面与所述承物台紧贴，且所述底面覆盖所述承物台的台面。

在其中一个实施例中，所述加工平台还包括平移组件，所述平移组件用于驱动所述承物台平移。

在其中一个实施例中，所述装置还包括与所述控制器连接的图像传感器，所述图像传感器的视场角覆盖所述承物台的台面，用于拍摄所述刻蚀标的元件的图像。