[发明专利]一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备在审
申请号: | 202110791513.9 | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN113512699A | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 张平山;王宗阳;徐建孙;王友愉;唐其华;杨燃 | 申请(专利权)人: | 华闽南配集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/56 |
代理公司: | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人: | 陈康 |
地址: | 353000 福建省南*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种适用于不同厚度PVD涂层的活塞环PVD处理工艺及其设备,其步骤具体如下:(1)、对活塞环的表面进行预处理;(2)、对活塞环进行预加热;(3)、对活塞环进行清洗刻蚀;(4)、对活塞环进行相应厚度的PVD处理:(5)、完成活塞环的PVD处理工艺;(6)、对活塞环进行涂层质量检查;该装置包含有密闭工作空间、设置在所述密闭工作空间内的抽真空组件、设置在所述密闭工作空间内的放置组件、设置在所述密闭工作空间内的PVD处理组件和实现组件上下移动的升降组件;实现对活塞环的智能化PVD处理,达到降低工作人员的工作强度和保证活塞环的涂层质量的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 适用于 不同 厚度 pvd 涂层 活塞环 处理 工艺 及其 设备 | ||
【主权项】:
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