[发明专利]ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法在审

专利信息
申请号: 202110790596.X 申请日: 2021-07-13
公开(公告)号: CN113697848A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 马建保;王志强;曾探;陶成 申请(专利权)人: 芜湖映日科技股份有限公司
主分类号: C01G19/02 分类号: C01G19/02
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 杨静
地址: 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供一种ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法,通过溶解—熟成—pH调整—固液分离—干燥—焙烧—球磨—分级混合,最终制得的粉末粒度细,分布范围窄和均匀,团聚程度轻,粉末纯度高,呈现出单分散性,粉末收率高,可大批量生产。
搜索关键词: ito 氧化 粉末 制造 方法
【主权项】:
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