[发明专利]ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法在审
申请号: | 202110790596.X | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN113697848A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 马建保;王志强;曾探;陶成 | 申请(专利权)人: | 芜湖映日科技股份有限公司 |
主分类号: | C01G19/02 | 分类号: | C01G19/02 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 杨静 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市中国(安徽)自*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供一种ITO靶材的氧化锡粉末的制造方法,通过溶解—熟成—pH调整—固液分离—干燥—焙烧—球磨—分级混合,最终制得的粉末粒度细,分布范围窄和均匀,团聚程度轻,粉末纯度高,呈现出单分散性,粉末收率高,可大批量生产。 | ||
搜索关键词: | ito 氧化 粉末 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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