[发明专利]一种不含季铵碱的清洗液有效
申请号: | 202110787696.7 | 申请日: | 2021-07-13 |
公开(公告)号: | CN113652316B | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 孙秀岩;王倩;郭磊;苏俊;金徽 | 申请(专利权)人: | 张家港安储科技有限公司 |
主分类号: | C11D7/32 | 分类号: | C11D7/32;C11D7/26;C11D7/60;C23G1/20 |
代理公司: | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人: | 张入文 |
地址: | 215637 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种不含季铵碱的清洗液,所述清洗液按照以下质量百分比的原料制成:胍或胍的衍生物的质量百分比1~20%,链烷醇胺的质量百分比1~20%,含氮的杂环的化合物金属腐蚀阻止剂的质量百分比0.01~10%,水的浓度为质量百分比60~99%。本发明中的清洗液不含季铵碱和易分解的抗氧化剂类金属阻止剂,并且有较好的环境稳定性,具有高效的铜表面有机残留物和研磨粒子去除能力,具有较低的铜的腐蚀速率和铜的表面粗糙度,还不会对铜表面产生吸附。 | ||
搜索关键词: | 一种 不含季铵碱 清洗 | ||
【主权项】:
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