[发明专利]一种电子级无水氟化氢阴离子去除装置在审
| 申请号： | 202110786208.0 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113426154A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 江伟;胡洪峰;金国军;谢钺 | 申请（专利权）人： | 宣城亨泰电子化学材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D5/00 | 分类号： | B01D5/00;B01D15/10;B01D15/14;B01D53/00;C01B7/19 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 龙海丽 |
| 地址： | 242000 安徽省宣城市宣*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子级无水氟化氢阴离子去除装置，包括急速冷凝器、阴离子去除塔和升温器，急速冷凝器包括被冷媒包裹的冷凝导流管；阴离子去除塔包括保温塔体、置于保温塔体内且与入料口连通的喷淋头以及分别置于喷淋头的下部和上部的下吸附区和上吸附区，下吸附区和上吸附区内均分别设置有吸附芯和过滤网，吸附芯靠近喷淋头设置；吸附芯主要由金属网箱和填充于金属网箱内的吸附颗粒组成，吸附颗粒活性成分为氧化钙；本发明的电子级无水氟化氢阴离子去除装置，实现对电子级无水氟化氢制备过程中反应后携带的阴离子进行去除，去除效果好，去除操作快速简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 无水 氟化氢 阴离子 去除 装置 | ||
【主权项】：
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