[发明专利]基于液晶空间光调制器的平面和立体微纳加工装置有效
| 申请号： | 202110773267.4 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113655693B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 胡跃强;贺鹏;李苓;段辉高;陈浩文 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03H1/22 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 董自亮 |
| 地址： | 410000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了基于液晶空间光调制器的平面和立体微纳加工装置，激光器波长在采用的光刻胶或光敏树脂的感光范围内；激光器出射的激光经扩束镜和4f系统扩束后，使激光束的1/e |
||
| 搜索关键词： | 基于 液晶 空间 调制器 平面 立体 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南大学，未经湖南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110773267.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
