[发明专利]一种分辨率可调的超透镜阵列及实现方法有效
| 申请号： | 202110772409.5 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113655547B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 段辉高;蔡一豪;胡跃强;李苓;陈浩文 | 申请（专利权）人： | 湖南大学 |
| 主分类号： | G02B1/00 | 分类号： | G02B1/00;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 董自亮 |
| 地址： | 410000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分辨率可调的超透镜阵列及实现方法，该超透镜阵列由石英基底与一层硅纳米柱超表面结构组合而成，能够实现在特定波长的线偏振光入射下实现三种分辨率的切换。该超透镜阵列主要包括两大部分：超构表面的设计和超构表面的制造。超构表面设计为偏振三通道的超透镜。超构表面的制造包括电子束曝光、剥离金属和电感耦合等离子体刻蚀工艺；将超构表面设计完成的超透镜阵列利用电子束曝光、剥离金属和电感耦合等离子体刻蚀工艺等完成制备。可以在入射光波长不变的情况下实现三种分辨率的转换，具有多功能、体积小、易加工等优点，可以实现动态分辨率的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分辨率 可调 透镜 阵列 实现 方法 | ||
【主权项】：
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