[发明专利]一种基于Fabry–Pérot腔的透射式超构表面多光谱成像仪

摘要

本发明公开了一种基于Fabry–Pérot腔的透射式超构表面多光谱成像仪，包括CMOS、FP腔超构表面滤波片。FP腔超构表面滤波片包括透明基底、金属层、介质层、微纳结构等，其连接主要由各层材料的粘附性实现，无需所提工艺之外的额外工序。入射光通过FP腔超构表面滤波片透射特定波长(即滤波)，透射光到达CMOS图像处理器上由CMOS记录经过滤波的光信号强度，进行光谱重建。本发明拥有更多的自由度来调控滤波性能，同时大大减少了加工的难度，有利于拓展滤波通道，提高多光谱成像仪的性能。本发明实现了透射式滤波，使CMOS在处理光强数据的时候更加简单，提高了多光谱成像仪的处理速度。