[发明专利]一种硅块破碎装置及使用方法、硅块破碎方法及应用方法有效
| 申请号： | 202110769884.7 | 申请日： | 2021-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113304848B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 吴锋;田新;王付刚;徐玲锋;陈卓 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B02C19/18 | 分类号： | B02C19/18 |
| 代理公司： | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 11813 | 代理人： | 倪青华 |
| 地址： | 221004 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及破碎装置技术领域，尤其涉及一种硅块破碎装置，包括：容器，提供待破碎硅棒的容纳空间，且在容纳空间内执行破碎动作；两脉冲电极，在容纳空间内悬挂设置，且悬挂高度及两脉冲电极在水平面内的位置均可调节；容器内设置有高纯水，脉冲电极在高纯水内产生脉冲电弧，高纯水的电阻率为ρ，单位为MΩ.cm，16MΩ.cm≤ρ≤20MΩ.cm。本发明中，在脉冲破碎过程中，硅棒接触的介质为高纯水，避免了人工或机械破碎过程中人或金属材料引入的污染，在电极处形成脉冲电弧，电弧进入多晶硅内部，形成等离子体电弧通道，最终将硅棒破碎为大小尺寸不一的硅块。本发明中还请求保护硅块破碎装置的使用方法，以及一种硅块破碎方法及应用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 破碎 装置 使用方法 方法 应用 | ||
【主权项】：
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