[发明专利]一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202110763518.0 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113463053B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 吴宇宁;卿海标 | 申请（专利权）人： | 南京达迈科技实业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F1/142;B22F1/145;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/17;B22F3/24;B22F9/04;C21D1/30;C22F1/18;C22C27/04;B22F5/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 211102 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法，旋转靶材原子组成是Mo |
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| 搜索关键词： | 一种 基多 合金 旋转 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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