[发明专利]一种用于检测半导体器件硬缺陷故障点的定位装置及方法有效
| 申请号： | 202110761209.X | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113466650B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 韩建伟;刘鹏程;马英起;朱翔;上官士鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家空间科学中心 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 陈光磊 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于检测半导体器件硬缺陷故障点的定位装置及方法，装置包括光源模块、光学模块、物镜、信号提取系统、三维移动台、移动台控制箱、控制计算机；方法包括采集物镜焦点处被测器件的红外显微图像,并记录该图像对应的物镜焦点坐标以及坐标点的频率信号强度，获得频率强度分布图；通过将红外显微图像和频率强度分布图进行叠加，获得信号强度分布图；通过分析信号强度分布图，定位被测器件上硬缺陷故障点的位置；本发明用于Flip‑Chip封装的集成电路进行故障点定位以及集成电路内部的扫描链电路全功能的故障点定位，同时适用于短路、漏电、观察微小失效如晶体管击穿、铝硅互熔短路和介质层裂纹这几种失效模式并且定位准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 半导体器件 缺陷 故障 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
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