[发明专利]一种集成式激光损伤表面观测系统在审

专利信息
申请号: 202110760432.2 申请日: 2021-07-06
公开(公告)号: CN113484326A 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 匡登峰;刘刚铄;徐灿 申请(专利权)人: 南开大学
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300350*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及一种集成式激光损伤表面观测系统,样品损伤表面经LED光源照明后,由同轴系统上的显微物镜、管式透镜和CCD相机放大成像,在计算机中实时显示,进行图像处理。对不透光样品可采用反射式观测,对透光样品可采用透射式观测,采用同轴系统将显微物镜、管式透镜和CCD相机集成化、一体化,保证了入射光线共轴,且可移动同轴系统进行调焦,能够有效减小像差,便于调节光路。系统装置结构简单,自组式设计,放大倍数可调,成本低,能够从表面细微结构变化层面,测量损伤程度,可应用在激光损伤、激光毁伤等技术领域。
搜索关键词: 一种 集成 激光 损伤 表面 观测 系统
【主权项】:
暂无信息
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