[发明专利]一种集成式激光损伤表面观测系统

权利要求书

1.一种集成式激光损伤表面观测系统，其特征在于包括：LED光源-1，显微物镜-2，管式透镜-3，CCD相机-4，夹持装置-5，待观测样品-6，升降圆柱-7，齿轮滑板-8，同轴系统-9，计算机-10，其中：待观测样品-6通过夹持装置-5固定，观测照明光源由LED光源-1出射，经样品表面反射后，进入显微物镜-2；显微物镜-2、管式透镜-3和CCD相机-4组成显微观测系统，置于同轴系统-9上保证入射光线共轴，同轴系统-9由升降圆柱-7和齿轮滑板-8组成，并可水平或竖直移动；样品损伤表面经显微观测系统的CCD相机-4成像后，在计算机-10中实时显示，做图像处理后得到表面细微结构变化及损伤程度，观测损伤表面。

2.根据权利要求1所述的一种集成式激光损伤表面观测系统，其特征在于，所述的观测照明光源还包括连续激光器。

3.根据权利要求1所述的一种集成式激光损伤表面观测系统，其特征在于，所述的待观测样品包括透明样品和不透明样品，具体包括砷化镓电池片、硅片、钢靶、铝靶、铜靶、钛靶、石英片、碳纤维、有机玻璃、金属膜和介质膜。

4.根据权利要求1所述的一种集成式激光损伤表面观测系统，其特征在于，所述显微物镜、管式透镜和CCD相机的像心应位于同一水平线、同一高度上。

5.根据权利要求1所述的一种集成式激光损伤表面观测系统，其特征在于，所述的CCD相机感光元件应位于管式透镜的焦点。

6.根据权利要求1所述的一种集成式激光损伤表面观测系统，其特征在于，所述同轴系统的放大倍数可根据显微物镜与管式透镜之间的距离实现可调。

7.一种如权利要求1所述的集成式激光损伤表面观测系统的试验流程，其特征在于，具体步骤如下：

(1)将待观测样品置于损伤表面观测系统中，打开LED照明光源；

(2)通过调节同轴系统移动，得到样品损伤表面经显微物镜、管式透镜和CCD相机放大后所成清晰的像；

(3)在计算机中进行图像处理，得到表面细微结构变化及损伤程度，观测损伤表面。