[发明专利]一种全自动晶圆研磨清洗一体机在审
| 申请号： | 202110759379.4 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113478359A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 乔金彪;钟良;高盼盼 | 申请（专利权）人： | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B37/02;B24B37/08;B24B37/27;B24B37/28;B24B37/34;B24B47/20;B24B47/22;B24B55/02;B24B55/06 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全自动晶圆研磨清洗一体机，涉及晶圆研磨技术领域，外壳内设有夹持装置、双面研磨装置和球型研磨组件，双面研磨装置传动连接有升降组件，双面研磨装置的中间适配安装有清洗组件，且清洗组件设于外壳顶端；本发明通过设置夹持装置、双面研磨装置、升降组件、球型研磨组件和清洗组件的相互配合实现对晶圆的双侧面和晶圆环形侧面进行研磨，并对晶圆外表面研磨的程度可控制化，从而得到需要的表面光滑度不同的晶圆，清洗组件在晶圆被研磨时对晶圆进行清洗清洁，在研磨及清洗的过程中为自动化操作，操作方便简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 研磨 清洗 一体机 | ||
【主权项】：
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