[发明专利]一种斜入射式共焦布里渊光谱测量系统和方法有效
申请号: | 202110757652.X | 申请日: | 2021-07-05 |
公开(公告)号: | CN113624683B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 吴寒旭;张升康;杨宏雷;杨文哲;葛军 | 申请(专利权)人: | 北京无线电计量测试研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/25 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 南霆 |
地址: | 100854 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开一种斜入射式共焦布里渊光谱测量系统和方法,解决现有折射率测量系统和方法测量精度低、空间分辨能力低等问题。所述系统,包含:照明模块,用于产生系统入射光;系统入射光经分光平片透射进入参考模块,反射进入光谱激发模块;标准样品经激发产生的布里渊散射光被收集后经分光平片反射进入光谱探测模块;光谱探测模块,探测得到标准样品的背向和对称方向布里渊散射光谱频移值,进而标定系统入射光角度;待测样品经激发产生的布里渊散射光被收集后经分光平片透射进入光谱探测模块;光谱探测模块,探测得到待测样品的背向和对称方向布里渊散射光谱频移值。所述方法使用所述系统。本发明可实现高精度、快速三维折射率测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 入射 式共焦布里渊 光谱 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
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