[发明专利]单晶生长控制方法、装置、设备及计算机存储介质在审
申请号: | 202110753499.3 | 申请日: | 2021-07-02 |
公开(公告)号: | CN113463185A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 华焱 | 申请(专利权)人: | 无锡松瓷机电有限公司 |
主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26;C30B29/06 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 章陆一 |
地址: | 214000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
本发明涉及一种单晶生长控制方法、装置、设备及计算机存储介质。单晶生长控制方法包括:在单晶硅的放肩过程中,实时监测单晶硅的长度、对应直径以及对应时刻;当单晶硅的长度达到D |
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搜索关键词: | 生长 控制 方法 装置 设备 计算机 存储 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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