[发明专利]一种局域钝化接触结构电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种局域钝化接触结构电池及其制备方法,其技术方案要点是,包括N型硅基体，所述N型硅基体的正面设置有正电极，所述N型硅基体正面覆盖有AlOx钝化层或SiNx减反层，所述正电极穿过AlOx钝化层或SiNx减反层与发射极接触，所述N型硅基体背面设置有负电极，在其所述N型硅基体的背面制备隧穿氧化层，其中，在N型硅基体与负电极接触区域不被刻蚀形成重掺杂的n++poly层，在非电极接触区域n++poly层被刻蚀减薄成轻掺杂的n+poly层。本发明通过在非金属区域轻掺杂，减少n+poly层寄生吸收效应，提高短路电流；在金属区域重掺杂，降低金属接触复合及接触电阻，提升开路电压及填充因子，进一步提高电池效率。