[发明专利]一种用于离子迁移谱的多次切换脉冲电压波形有效

专利信息
申请号: 202110747914.4 申请日: 2021-07-01
公开(公告)号: CN113345791B 公开(公告)日: 2023-07-25
发明(设计)人: 仓怀文;王卫国;李海洋 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06;H01J49/00
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 21212 代理人: 张玉莹;李馨
地址: 116000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明公开了一种用于离子迁移谱的多次切换脉冲电压波形,将BN型离子门工作状态分为:开门状态、关门状态和多次切换状态。其中多次切换状态是离子门处于关闭状态切换延时时间后将第一金属电极与第二金属电极的电压进行多次切换,不断修正离子门斩切离子团后沿的离子浓度分布,从而将离子门关门后形成清空区、扩散区和压缩区不断切换,彻底改变传统脉冲电压波形在离子门关闭后所一成不变的清空区、扩散区和压缩区,能尽可能减少由清空区引起的离子损失,多次压缩扩散区中离子,调整离子团后沿离子分布,提高离子密度,极大提升离子门的注入效率和分辨率,还可以让更多迁移率小的离子注入迁移区中,削弱BN型离子门的迁移率歧视效应。
搜索关键词: 一种 用于 离子 迁移 多次 切换 脉冲 电压 波形
【主权项】:
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