[发明专利]一种芯片、芯片工艺角的测量方法及装置在审
| 申请号： | 202110744378.2 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113295986A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 亓磊 | 申请（专利权）人： | 湖南国科微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘翠香 |
| 地址： | 410131 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种芯片，包括：一个或多个环形振荡器，用于测量芯片的工艺角，每个环形振荡器均包括奇数个反相电路单元，且每个环形振荡器均具有单独的供电引脚。本申请中每个环形振荡器均具有单独的供电引脚，使得环形振荡器以单独供电的方式测量芯片的工艺角，测量过程不受芯片中其他线路和元件的压降影响，提高了工艺角的测量准确度，具有较高的应用前景。相应的，本申请公开了一种芯片工艺角的测量方法和测量装置，具有与芯片相同的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 工艺 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
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