[发明专利]一种N型太阳能电池硼扩散炉管的清洁方法有效
| 申请号： | 202110743237.9 | 申请日： | 2021-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN113600565B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张红妹;王通;马桂艳;张东升;王静;马红娜 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B9/027;B08B13/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 郝晓红 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种N型太阳能电池硼扩散炉管的清洁方法，在不改变炉管结构的情况下，首先前后两次通入携水氮气对炉管进行清洁，充分去除了炉管壁和炉门附着的BSG，有效降低了携水氮气中的水蒸气在炉管中残留概率，避免了水蒸气在炉管工作过程中影响硼扩散效果；然后在通入携水氮气结束后升温通入氧气，有效去除了炉管内沉积的金属离子，在保护炉管、提高炉管寿命的同时提高了产品质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 炉管 清洁 方法 | ||
【主权项】：
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