[发明专利]一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备

摘要

本发明涉及半导体薄膜的制备装置，具体涉及一种用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备，用于解决目前使用热分解法制备氧化锡导电薄膜过程繁琐、效率低，且影响成膜质量的不足之处。该用于热分解法制备氧化锡导电薄膜的自动化设备，包括加热炉、旋转电机、炉膛温度控制系统和溶液雾化器。本发明利用热分解法制备氧化锡导电薄膜，整个流程均可实现自动化，薄膜厚度由气雾出射量与气雾喷涂时间确定，并由薄膜电阻值表征，根据经验确定气雾出射量、气雾喷涂时间与薄膜厚度的对应关系，可以实现氧化锡导电薄膜的批量化生产。