[发明专利]一种用于卷对卷工艺过程的卷辊更换方法有效
申请号: | 202110728547.3 | 申请日: | 2021-06-29 |
公开(公告)号: | CN113416939B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 李成林;杜雪峰;郝明 | 申请(专利权)人: | 辽宁分子流科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/24 |
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地址: | 110179 辽宁省沈阳*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明公开一种用于卷对卷工艺过程的卷辊更换方法,主要包括:在卷对卷设备的真空室内布置隔离腔,隔离腔门和隔离腔壁在真空室内形成密闭空间;将卷辊套装在隔离腔门内侧的辊驱动轴上;隔离腔通过隔离腔壁上的狭缝与真空室相连通;在狭缝两侧的隔离腔壁上设置有夹层腔,夹层腔内设置有密封条;当需要更换卷辊时,夹层腔内的密封条伸出使隔离腔和真空室间密封隔绝;通过抽拉使隔离腔门从隔离腔上脱离开;然后在外部实施卷辊的拆卸和安装;之后,将装有新卷辊的隔离腔门推送回隔离腔;然后密封条缩回使隔离腔和真空室间恢复连通;该卷辊更换方法可在卷对卷设备的真空室不暴露大气的情况下完成卷辊的更换。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 工艺 过程 更换 方法 | ||
【主权项】:
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