[发明专利]振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件在审
| 申请号： | 202110726431.6 | 申请日： | 2021-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN113872546A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 小仓诚一郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H3/04;H03H9/05;H03H9/21;G01C19/5628;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 邓毅;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件，能够抑制驱动特性和可靠性降低。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备振动元件，该振动元件具有基部、振动臂和施重膜，振动臂具备从基部延伸出来的臂部以及位于臂部的末端侧的施重部，施重部具有呈正反关系的第一主面和第二主面，所述施重膜配置于所述施重部的所述第一主面，所述第一主面具有第一平面、第二平面和倾斜面，该第二平面比所述第一平面靠所述第二主面侧，与所述第一平面平行，所述倾斜面将所述第一平面和所述第二平面连接起来，所述倾斜面与所述第一平面所成的角为100°以下；去除工序，从所述第一平面的法线方向对所述施重膜照射能量线而去除所述施重膜的一部分。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 元件 制造 方法 以及 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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