[发明专利]振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件

摘要

提供振动元件的制造方法、振动元件以及振动器件，能够抑制驱动特性和可靠性降低。振动元件的制造方法包括：准备工序，准备振动元件，该振动元件具有基部、振动臂以及施重膜，该振动臂具备从所述基部延伸出来的臂部以及位于所述臂部的末端侧的施重部，该施重部具有呈正反关系的第一主面和第二主面，所述施重膜配置于所述施重部的所述第一主面，所述第一主面具有平面和相对于所述平面倾斜的倾斜面；以及去除工序，对所述施重膜照射能量线而去除所述施重膜的一部分，在所述去除工序中，从所述平面的法线方向对所述施重膜照射所述能量线，不去除配置于所述倾斜面的所述施重膜，而去除配置于所述平面的所述施重膜。