[发明专利]验证检查部是否异常的方法、检查台及检查系统在审
| 申请号： | 202110725373.5 | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN113390891A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 金冠成;金明镐;朴南圭;金柱赫 | 申请（专利权）人： | 株式会社高迎科技 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种验证检查部是否异常的方法、检查台及检查系统。本发明的方法包括：提供在附着于检查系统的框架上形成的验证基准体的步骤；使所述检查部位于所述验证基准体上的步骤；通过所述检查部而获得所述验证基准体的影像数据的步骤；从所述影像数据提取所述检查部的移动误差及高度误差并验证所述检查部是否异常的步骤；生成代表所述检查部是否异常的验证结果的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 验证 检查 是否 异常 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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