[发明专利]一种具有循环机构的石英舟清洗装置在审
| 申请号： | 202110720388.2 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113492134A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;田晓东;冯春 | 申请（专利权）人： | 亚电科技（苏州）有限公司;江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/14;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 陈平 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市高新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有循环机构的石英舟清洗装置，包括用于废液处理的循环机构和用于对石英舟进行清洗的清洗机构以及用于对石英舟进行烘干的烘干机构，所述循环机构安装在所述清洗机构内侧底部，所述烘干机构安装在所述清洗机构的出料端，所述清洗机构、所述烘干机构内侧均连接有传输机构，所述传输机构上连接有旋转机构，所述循环机构通过联动机构连接所述传输机构。本发明利用循环机构和清洗机构配合，从而使得清洗液废液能够得到充分的过滤，从而继续利用清洗液，提高清洗液的利用效率以及节能性，利用清洗机构、烘干机构、旋转机构、传输机构配合，采用链传动配合齿块的方式，使得石英舟旋转清洗，提高石英舟的清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 循环 机构 石英 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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