[发明专利]一种准分子激光器及线宽压窄装置和方法在审
| 申请号： | 202110717595.2 | 申请日： | 2021-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN113437631A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘广义;江锐;徐向宇;赵江山;刘斌;冯泽斌;刘稚萍;詹绍通 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/101 | 分类号： | H01S3/101;H01S3/13;H01S3/00 |
| 代理公司： | 北京清源汇知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11644 | 代理人： | 冯德魁;张艳梅 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种准分子激光器及线宽压窄装置和方法。其中，所述装置包括：控制装置，以及沿激光器出光方向依次设置的光束偏移器、扩束元件和色散元件；所述光束偏移器用于将以布鲁斯特角入射的激光光束在出射后偏移设定距离；所述控制装置与所述光束偏移器相连接，用于控制所述光束偏移器将所述激光器出射的相邻脉冲在出射后偏移至不同位置。上述装置通过光束偏移器动态的改变激光进入扩束元件和色散元件时的位置，使扩束元件和色散元件的不同部分共同承担激光产生的热，避免了所述扩束元件和色散元件产生热效应变形，确保了准分子激光器输出的激光光谱的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 线宽压窄 装置 方法 | ||
【主权项】：
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