[发明专利]一种免光刻快速制备微流控芯片的方法在审
申请号: | 202110716620.5 | 申请日: | 2021-06-25 |
公开(公告)号: | CN113289703A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 李颖;覃珊珊;杨运煌;胡锐;刘买利 | 申请(专利权)人: | 中国科学院精密测量科学与技术创新研究院 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 武汉宇晨专利事务所(普通合伙) 42001 | 代理人: | 江丽丽 |
地址: | 430071 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种免光刻快速制备微流控芯片的方法,包括以下步骤:利用激光切割胶带形成具有微通道的结构,将具有微通道结构的胶带转移至干净的基片;然后在胶带的微结构处均匀涂上正光刻胶,待光刻胶固定后移走胶带,得到正光刻胶阳模;再将PDMS和固化剂均匀混合后浇注到正光刻胶阳模上,加热使PDMS固化后将制得的PDMS板从阳模上切下,打孔、封接得到PDMS芯片。该方法无需光刻、显影等,既简化了过程,又省去了对超净间、光刻仪器和大量化学试剂的需求,相对传统光刻方法具有明显的优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 光刻 快速 制备 微流控 芯片 方法 | ||
【主权项】:
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