[发明专利]基于微波探测技术的半导体亚表面信息测试系统

摘要

本发明公开了一种基于微波探测技术的半导体亚表面信息测试系统，属于微波探测技术领域，为亚表面信息的无损检测提供了一种新的方法。本系统主要包含三个模块：样品检测模块、信号收发模块、控制模块。首先通过信号收发模块产生一设定频率的微波信号，并将该微波信号输入到样品检测模块当中，样品检测模块将该信号通过探针辐射向待测样品，由于微波具有穿透性，因此该微波信号可以穿过样品表面辐射入样品内部进行无损探测，最终的信号将重新回到信号收发模块中进行显示及分析，从而得出进一步的结论。本发明采用了微波探测手段实现了无损探测，并通过样品检测模块的分级步进实现了更大范围的探测。