[发明专利]一种由2-环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及光刻胶技术领域，公开了一种由2‑环戊基环戊酮合成的可降解型树脂单体及其制备方法和应用，所述可降解型树脂单体的结构通式如下：其中R为烷基或杂烷基。可降解型树脂单体上含有叔丁基结构，在曝光时，光致产酸剂会产生酸，在酸的作用下，叔丁基结构会断开，导致聚合主链断开，形成小片段，能够改善光刻图形的边缘粗糙度，提高光刻胶的分辨率，断开后形成了具有良好碱溶性的羟基，有利于显影过程中的溶解，增加曝光后光刻胶在显影液中溶解速度，增大光刻胶的对比度。