[发明专利]研磨装置在审
| 申请号： | 202110698400.4 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115502881A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 黄宝锋;林君安 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B41/04;B24B47/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 王侠 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种研磨装置，所述研磨装置具有一研磨单元和一基座单元，所述研磨单元具有一研磨盘、旋转主轴和马达；基座单元具有一底座、第一角度调整单元、第二角度调整单元和滑动座，研磨单元设置于底座上，第一角度调整单元和第二角度调整单元设置于底座和滑动座之间，第一角度调整单元具有平行于第一水平轴向的第一枢轴，第二角度调整单元具有平行于第二水平轴向的第二枢轴，从而使得研磨单元能够以第一枢轴和第二枢轴为中心来调整研磨盘的倾斜角度，进而达到控制晶圆研磨面的平面度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于均豪精密工业股份有限公司，未经均豪精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110698400.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
