[发明专利]制备应变计或基于柔性聚酰亚胺的电阻器的方法

摘要

本公开提供一种制备应变计或基于柔性聚酰亚胺的电阻器的方法，所述方法包括步骤：提供一柔性聚酰亚胺基板、将一导电箔连接至柔性聚酰亚胺基板、在导电箔上施加一层光刻胶，之后使用光刻胶通过蚀刻以图案化导电箔，其中所述方法的特征在于：其包括至少一个以下步骤：使用机械磨蚀对柔性聚酰亚胺基板进行表面处理、在图案化之前擦洗导电箔、在图案化之后通过擦洗去除光刻胶、在图案化之后使用去离子水进行加压清洗、进行自动演算法的电阻校准及分流调节，以及在图案化之后在导电箔上形成一环氧树脂的乳液层。