[发明专利]垂直腔面发射激光器及其制造方法在审
| 申请号： | 202110677631.7 | 申请日： | 2021-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN113823994A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | S·巴德尔;U·魏希曼 | 申请（专利权）人： | 通快光电器件有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种垂直腔面发射激光器，其包括半导体层的层堆叠。层堆叠包括形成台面的第一层子堆叠和在层堆叠的堆叠方向上与台面相邻的第二层子堆叠。第二层子堆叠的层在垂直于堆叠方向的方向上延伸超过第一层子堆叠的层。层堆叠的半导体层形成光学谐振器，所述光学谐振器具有第一反射镜、第二反射镜、在第一和第二反射镜之间用于产生激光的有源区、以及形成电流孔径的氧化孔径层。氧化孔径层由Al |
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| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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