[发明专利]一种晶圆棒拼接方法在审
申请号: | 202110673777.4 | 申请日: | 2021-06-17 |
公开(公告)号: | CN115491767A | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 张红霞;武皓洋;刘必超;白雪 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种晶圆棒拼接方法,步骤包括:配制与晶圆棒端面相适配的本体;执行在所述本体上设置与所述晶圆棒体柱面上的所有棱线对应设置的若干投影点,并在至少一个所述投影点上涂覆胶液;执行在所述本体上设置与所述晶圆棒切方后获得的晶方棒的横截面相适配的内接正多边形,并在任一组对位设置的所述正多边形的边上配设有胶液。本发明可提高拼接位置处棱线的粘接强度,从而提高棱线位置处的稳定性,进而可降低由于金刚线震动造成的崩损问题,可使棱线崩损率降低了92%以上,提高晶圆棒开方合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶圆棒 拼接 方法 | ||
【主权项】:
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