[发明专利]一种根据保护气体流量控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺在审
| 申请号： | 202110673761.3 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115491751A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 赵国伟;吴树飞;郝瑞军;王林;谷守伟;张文霞;王建平;郭志荣 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种根据保护气体流量控制掺镓单晶电阻率的拉制工艺，在直拉单晶过程中，在等径阶段，根据单晶拉制长度的变化进行保护气体的流量的调整，控制保护气体的流量，控制合金挥发速率。本发明的有益效果是使得保护气体的流量在等径阶段随着单晶拉制长度的增加而增加，在单晶拉制过程中制造不同的炉内气体流动场景，增加掺镓单晶拉制后期的合金挥发速率，降低合金浓度，提高掺镓单晶拉制长度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 根据 保护 气体 流量 控制 掺镓单晶 电阻率 拉制 工艺 | ||
【主权项】：
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