[发明专利]高分辨率二维快速控制反射镜动态角度测量装置在审
| 申请号： | 202110673640.9 | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN113405490A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 康登魁;姜昌录;王楠茜;俞兵;袁泉;陈洁婧;王生云;王雷;张玫;黎高平 | 申请（专利权）人： | 西安应用光学研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01M11/02;G02B26/08 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心 11011 | 代理人： | 周恒 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明属于光学计量与测量技术领域，具体涉及一种高分辨率二维快速控制反射镜动态角度测量装置。所述测量装置包括：激光器、空间滤波器、参考反射镜、电动三维位移台、汇聚透镜、高速CCD相机；本发明采用参考反射镜与FSM光路折转的方式，将FSM偏转角度提高为2 |
||
| 搜索关键词： | 高分辨率 二维 快速 控制 反射 动态 角度 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安应用光学研究所，未经西安应用光学研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110673640.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
