[发明专利]升华仪及其控制方法在审
| 申请号: | 202110663767.2 | 申请日: | 2021-06-16 |
| 公开(公告)号: | CN113465380A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
| 发明(设计)人: | 张鹏;安学会;程进辉;高光平;徐大波;徐怀忠;张迁迁;章泽同 | 申请(专利权)人: | 上海煜志科技有限公司;杭州嘉悦智能设备有限公司 |
| 主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;F27D1/00;F27D11/02;F27D9/00;F27D7/06;B01D7/00 |
| 代理公司: | 上海裕创慧成知识产权代理事务所(普通合伙) 31384 | 代理人: | 黄裕 |
| 地址: | 201815 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
| 权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
| 摘要: | 本发明涉及一种升华仪,包括:在炉体的内部分布设置若干个加热温场结构;在炉体的内部包裹炉管;在炉管的一侧通过插板阀机构连接真空系统;主控系统控制真空系统对炉管进行真空抽取控制;在炉管内的真空度达到预设值,主控系统分段控制加热温场结构对炉管进行加热,或者对炉管充入惰性气体;分段控制加热温场结构对炉管进行加热,使得在炉管内的材料进行升华和再收集;本发明采用了对炉管采用真空系统,进行真空抽取,达到真空状态,或者再进行充入惰性气体,使得待提纯的材料,在真空状态或者惰性其他保护下进行升华,解决了OLED、OPV等领域的有机光电子材料的纯度要求,解决被提纯的材料的损耗也非常大的技术问题。 | ||
| 搜索关键词: | 升华 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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