[发明专利]夹取装置及龙门装置在审
申请号: | 202110660989.9 | 申请日: | 2021-06-15 |
公开(公告)号: | CN113386103A | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 谢建;杨凡;刘永才 | 申请(专利权)人: | 深圳市创一智能装备有限公司 |
主分类号: | B25J5/02 | 分类号: | B25J5/02;B25J15/00;B25J15/08;B25J18/00 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 陈宇;张颖玲 |
地址: | 518104 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种夹取装置,涉及硅片制备领域。该夹取装置包括:机架;固定夹爪,与机架连接并在第一方向上与机架相对固定;活动夹爪,与机架连接,并沿第一方向与固定夹爪间隔设置,活动夹爪能够相对机架沿第一方向运动以调整与固定夹爪的间距。本发明还提供一种龙门装置,应用了上述夹取装置,能够夹取不同尺寸的硅片,适用范围较大。 | ||
搜索关键词: | 装置 龙门 | ||
【主权项】:
暂无信息
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